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The development of a Silicon Linewidth Standard

Dal 1992-11-01 al 1996-10-31

Dettagli del progetto

Costo totale:

Non disponibile

Contributo UE:

Non disponibile

Coordinato in:

Germany

Argomento (i):

Meccanismo di finanziamento:

CSC - Cost-sharing contracts

Obiettivo

Coordinatore

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Germany
Bundesallee 100
3300 Braunschweig
Germany
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Contatto amministrativo: Werner MIRANDE
Tel.: +49-531-5924220
Fax: +49-531-5929292

Partecipanti

Interuniversitair Mikro-Electronika Centrum VZW
Belgium
Kapeldreef 75
3001 HEVERLEE
Belgium
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National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom
Queen's Road
TW11 0LW Teddington
United Kingdom
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