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Imagine a System and Processing Equipment for deep Etching with a Double Etch Rate

Desde 2000-03-01 hasta 2001-06-30

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 1 106 092

Aportación de la UE:

EUR 800 000

Coordinado en:

Germany

Régimen de financiación:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objetivo

Coordinador

ROBERT BOSCH GMBH
Germany
ROBERT-BOSCH-PLATZ1
70839 GERLINGEN-SCHILLERHOEHE
Germany
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Contacto administrativo: Andrea SCHILP
Tel.: +71-18-117239
Fax: +71-18-117669
Correo electrónico

Participantes

ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE
France
12 RUE DE LA BAUME
75008 PARIS 08
France
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Contacto administrativo: Michel PUECH
Tel.: +45-0657919
Fax: +45-0657583
Correo electrónico
PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH
Germany
WENZEL-JAKSCH-STRASSE 31
65199 WIESBADEN
Germany
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Contacto administrativo: Martin HAUSNER
Tel.: +61-14-92211/492379
Fax: +61-14-92199
Correo electrónico
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