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Imagine a System and Processing Equipment for deep Etching with a Double Etch Rate

Dal 2000-03-01 al 2001-06-30

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 1 106 092

Contributo UE:

EUR 800 000

Coordinato in:

Germany

Meccanismo di finanziamento:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Obiettivo

Coordinatore

ROBERT BOSCH GMBH
Germany
ROBERT-BOSCH-PLATZ1
70839 GERLINGEN-SCHILLERHOEHE
Germany
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Contatto amministrativo: Andrea SCHILP
Tel.: +71-18-117239
Fax: +71-18-117669
E-mail

Partecipanti

ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE
France
12 RUE DE LA BAUME
75008 PARIS 08
France
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Contatto amministrativo: Michel PUECH
Tel.: +45-0657919
Fax: +45-0657583
E-mail
PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH
Germany
WENZEL-JAKSCH-STRASSE 31
65199 WIESBADEN
Germany
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Contatto amministrativo: Martin HAUSNER
Tel.: +61-14-92211/492379
Fax: +61-14-92199
E-mail