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Particle Inspection for Advanced New Photomask Applications

De 2000-01-01 à 2002-02-28

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 5 285 633

Contribution de l'UE:

EUR 2 709 862

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Régime de financement:

CSC - Cost-sharing contracts

Objectif

Coordinateur

INFINEON TECHNOLOGIES AG
Germany
ST. MARTIN STRASSE 53
81609 MUENCHEN
Germany
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Contact administratif: Monika FEDERLE
Tél.: +89-23-422677
Fax: +89-23-424449
E-mail

Participants

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
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Contact administratif: Rik JONCKHEERE
Tél.: +16-28-1340
Fax: +16-28-1214
E-mail
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH
Germany
ERNST-LEITZ STRASSE 17-37
35578 WETZLAR
Germany
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Contact administratif: Wolfgang VOLLRATH
Tél.: +64-41-292651
Fax: +64-41-292333
E-mail
MICRO CONTROLE SA.
France
11 RUE DE BOIS SAUVAGE
91000 EVRY
France
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Contact administratif: Roger DESAILLY
Tél.: +23-84-05073
Fax: +23-84-05001
E-mail
THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM
United Kingdom
UNIVERSITY PARK
NG7 2RD NOTTINGHAM
United Kingdom
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Contact administratif: Guoping QIU
Tél.: +13-32-335430
Fax: +13-32-335468
E-mail