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FP5

A table-top xuv-laser for high-resolution optical lithography

Project ID: HPMF-CT-2000-00455
Gefördert unter

A table-top xuv-laser for high-resolution optical lithography

Von 2001-01-01 bis 2002-12-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

EUR 140 900

EU-Beitrag:

EUR 140 900

Koordiniert in:

Netherlands

Thema(en):

Finanzierungsprogramm:

RGI - Research grants (individual fellowships)

Koordinator

VRIJE UNIVERSITEIT AMSTERDAM - VERENIGING VOOR CHRISTELIJK WETENSCHAPPELIJK ONDERWIJS
Netherlands
1081,De Boelelaan 1081
1081 HV AMSTERDAM
Netherlands
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Administrative Kontaktangaben: Wim HOGERVORST
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