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Spatially resolved subsurface characterization of semiconductor wafers by high resolution x-ray diffraction

Dal 2001-02-28 al 2002-02-27

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 128 000

Contributo UE:

EUR 128 000

Coordinato in:

Germany

Obiettivo

Coordinatore

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Germany
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Germany
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Contatto amministrativo: Henning METZLAFF
E-mail