Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

Lithography to Cross the One-Tenth of a micron Resolution Node using ArF System Technology

Od 2000-01-01 do 2001-12-31

Dane projektu

Całkowity koszt:

EUR 6 000 000

Wkład UE:

EUR 3 000 000

Kraj koordynujący:

Netherlands

System finansowania:

CSC - Cost-sharing contracts

Cel

Koordynator

ASM LITHOGRAPHY B.V.
Netherlands
DE RUN 1110
5503 LA VELDHOVEN
Netherlands
See on map
Kontakt administracyjny: Judon STOELDRAIJER
Tel.: +31-40-2303336
Faks: +31-40-2304550

Uczestnicy

CARL ZEISS
Germany
73446 OBERKOCHEN
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Rainer BOERRET
Tel.: +73-64-204060
Faks: +73-64-204509
Adres e-mail
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO KG
Germany
QUARZSTRASSE
63450 HANAU
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Bruno UEBBING
Tel.: +61-81-367435
Faks: +61-81-367448
Adres e-mail
HONEYWELL SPECIALTY CHEMICALS SEELZE GMBH
Germany
WUNSTORFERSTRASSE 40
30926 SEELZE
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Thomas SCHOLTEN
Tel.: +51-37-999317
Faks: +51-37-999827
Adres e-mail
LAMBDA PHYSIK AG
Germany
HANS-BOECKLER-STRASSE 12
37073 GOETTINGEN
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Uwe STAMM
Tel.: +55-16-938201
Faks: +55-16-8691
Adres e-mail
SCHOTT LITHOTEC AG
Germany
OTTO-SCHOTT-STRASSE 13
07745 JENA
Germany
See on map
Kontakt administracyjny: Ewald MOERSEN
Tel.: +61-31-8012614
Faks: +61-31-8012626
Adres e-mail
Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę