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Defect Review Via Electron Beam Induced Auger Electron Microanalysis Of Semiconductors

Desde 2001-09-01 hasta 2003-02-28

Detalles del proyecto

Coste total:

EUR 5 219 207

Aportación de la UE:

EUR 3 669 362

Coordinado en:

France

Régimen de financiación:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objetivo

Coordinador

STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Contacto administrativo: Laurens KAWKMAN
Tel.: +33-17-6926118
Fax: +33-17-6926444
Correo electrónico

Participantes

FEI ELECTRON OPTICS B.V.
Netherlands
ACHTSEWEG NOORD 5
5651 GG EINDHOVEN
Netherlands
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Contacto administrativo: Trevor DINGLE
Tel.: +44-12-23468552
Fax: +44-12-23468599
Correo electrónico
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
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Contacto administrativo: Hugo BENDER
Tel.: +32-16-281304
Fax: +32-16-281706
Correo electrónico
PHILIPS SEMICONDUCTORS B.V.
Netherlands
PROFESSOR HOLSTLAAN 4
5656AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contacto administrativo: Bert OTTERLOO
Tel.: +31-24-3533403
Fax: +31-24-33533323
Correo electrónico
SEMATECH, INC.
United States
2706 MONTOPOLIS DRIVE
78741-6499 AUSTIN - TEXAS
United States
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Contacto administrativo: Alain DIEBOLD
Tel.: +51-23-563146
Fax: +51-23-467640
Correo electrónico
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