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Defect Review Via Electron Beam Induced Auger Electron Microanalysis Of Semiconductors

De 2001-09-01 à 2003-02-28

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 5 219 207

Contribution de l'UE:

EUR 3 669 362

Coordonné à/au(x)/en:

France

Régime de financement:

ACM - Preparatory, accompanying and support measures

Objectif

Coordinateur

STMICROELECTRONICS SA
France
29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND
92120 MONTROUGE
France
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Contact administratif: Laurens KAWKMAN
Tél.: +33-17-6926118
Fax: +33-17-6926444
E-mail

Participants

FEI ELECTRON OPTICS B.V.
Netherlands
ACHTSEWEG NOORD 5
5651 GG EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: Trevor DINGLE
Tél.: +44-12-23468552
Fax: +44-12-23468599
E-mail
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
3001 LEUVEN
Belgium
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Contact administratif: Hugo BENDER
Tél.: +32-16-281304
Fax: +32-16-281706
E-mail
PHILIPS SEMICONDUCTORS B.V.
Netherlands
PROFESSOR HOLSTLAAN 4
5656AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: Bert OTTERLOO
Tél.: +31-24-3533403
Fax: +31-24-33533323
E-mail
SEMATECH, INC.
United States
2706 MONTOPOLIS DRIVE
78741-6499 AUSTIN - TEXAS
United States
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Contact administratif: Alain DIEBOLD
Tél.: +51-23-563146
Fax: +51-23-467640
E-mail