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FP6

OCSLI

Project ID: 001854
Financé au titre de

Overlay control technology for sub-wavelength lithography for 65nm node and beyond in the integrated circuit industry

De 2003-11-01 à 2005-12-31 | OCSLI Site web

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 2 940 560

Contribution de l'UE:

EUR 1 520 000

Coordonné à/au(x)/en:

Israel

Régime de financement:

STREP - Specific Targeted Research Project

Objectif

Coordinateur

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
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Contact administratif: KASSEL,
Tél.: +972-4-6449637
Fax: +972-4-6449450
E-mail

Participants

AMD SAXONY LIMITED LIABILITY COMPANY & CO. KG
Germany
WILSCHDORFER LANDSTRASSE 101
01 109 DRESDEN
Germany
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INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
Kapeldreef 75
LEUVEN
Belgium
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