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FP6

SOCOT

Project ID: 16403
Financé au titre de

Scatterometry Overlay Control Technology in the integrated circuit industry for the 32nm technology node and beyond

De 2005-10-01 à 2008-09-30

Détails concernant le projet

Coût total:

EUR 3 504 259

Contribution de l'UE:

EUR 1 813 683

Coordonné à/au(x)/en:

Israel

Sujet(s):

Régime de financement:

STREP - Specific Targeted Research Project

Objectif

Coordinateur

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
4 HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
Contact administratif: Daniel KANDEL
Tél.: +97-24-6449640
Fax: +97-24-6449450
E-mail

Participants

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
LEUVEN
Belgium
Contact administratif: Philippe LERAY
QWED SP. Z O.O.
Poland
UL.ZWYCIEZCOW 34 / 2
03-938 WARSAW
Poland
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Contact administratif: Malgorzata CELUCH
STMICROELECTRONICS S.R.L.
Italy
VIA OLIVETTI 2
20041 AGRATE BRIANZA
Italy
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Contact administratif: Mauro VASCONI