Servizio Comunitario di Informazione in materia di Ricerca e Sviluppo - CORDIS

FP6

SOCOT

Project ID: 16403
Finanziato nell'ambito di

Scatterometry Overlay Control Technology in the integrated circuit industry for the 32nm technology node and beyond

Dal 2005-10-01 al 2008-09-30

Dettagli del progetto

Costo totale:

EUR 3 504 259

Contributo UE:

EUR 1 813 683

Coordinato in:

Israel

Argomento (i):

Meccanismo di finanziamento:

STREP - Specific Targeted Research Project

Obiettivo

Coordinatore

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)
Israel
4 HATIKSHORET ST.
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
Contatto amministrativo: Daniel KANDEL
Tel.: +97-24-6449640
Fax: +97-24-6449450
E-mail

Partecipanti

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW
Belgium
KAPELDREEF 75
LEUVEN
Belgium
Contatto amministrativo: Philippe LERAY
QWED SP. Z O.O.
Poland
UL.ZWYCIEZCOW 34 / 2
03-938 WARSAW
Poland
See on map
Contatto amministrativo: Malgorzata CELUCH
STMICROELECTRONICS S.R.L.
Italy
VIA OLIVETTI 2
20041 AGRATE BRIANZA
Italy
See on map
Contatto amministrativo: Mauro VASCONI