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Dry Develop Optical Lithography for ULSI

De 1988-12-01 à 1991-11-30

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Belgium

Objectif

Coordinateur

Interuniversitair Mikroelektronica Centrum
Belgium
Kapeldreef 75
3030 Heverlee
Belgium
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Contact administratif: Marianne VAN DEN BROECK
Tél.: +32-16-281491
Fax: +32-16-229400

Participants

Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
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Contact administratif: Jean-Charles GUIBERT
Tél.: +33-76883581
Fax: +33-76885183
FARRAN TECHNOLOGY
Ireland
BALLINCOLLIG
CORK
Ireland
Contact administratif: KELLY
Tél.: +353-
Fax: +353-
GEC Plessey Semiconductors plc
United Kingdom
Caswell
NN12 8EQ Towcester
United Kingdom
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Contact administratif: MARTIN
Tél.: +44-327-50581
Fax: +44-327-53410
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: GOSSINK
Tél.: +31-40-742275
Fax: +31-40-743783
Siemens AG
Germany
Balanstraße 73
81541 München
Germany
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Contact administratif: Wolfgang ARDEN
Tél.: +49-89-63646313
Fax: +49-89 63648666
UCB ELECTRONICS SA
Belgium
AVENUE LOUISE, 326
1050 BRUXELLES
Belgium
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Contact administratif: Bruno ROLAND
Tél.: +32-2-3771170
Fax: +32-2-3783944