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Industrial Characterisation of an Advanced Resonant Etcher

De 1988-12-15 à 1991-12-14

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

France

Objectif

Coordinateur

ALCATEL CIT SA
France
55 RUE EDGAR QUINET
92240 MALAKOFF
France
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Contact administratif: DURANDET
Tél.: +33-1-40923136
Fax: +33-1-40920450

Participants

CENTRO NACIONAL DE MICROELECTRONICA
Spain
SERRANO, 144
28006 MADRID
Spain
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Contact administratif: DOMINGUEZ HORNA
Tél.: +34-3-6914012
Fax: +34-3-6914968
Centre National d'Études des Télécommunications (CNET)
France
98 chemin du Vieux Chêne
38243 Meyland
France
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Contact administratif: HENRY
Tél.: +33-76514059
Fax: +33-76903443
Commissariat à l'Energie Atomique (CEA)
France
Centre d'Études de Grenoble 17 avenue des Martyrs
38041 Grenoble
France
Contact administratif: ROUSSILLE
Tél.: +33-76883110
Fax: +33-76885158
NEDERLANDSE PHILIPS BEDRIJVEN BV
Netherlands
PROF. HOLSTLAAN, 4
5656 AA EINDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: KALTER
Tél.: +31-40-742947
Fax: +31-40-744617
UNIVERSITY OF DUBLIN
Ireland
TRINITY COLLEGE
DUBLIN 2
Ireland
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Contact administratif: Alan MOORE
Tél.: +353-1-7021432
Fax: +353-1-772442