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New-Generation DUV-Stepper Optics

Von 1990-01-01 bis 1992-12-31

Projektdetails

Gesamtkosten:

Nicht verfügbar

EU-Beitrag:

Nicht verfügbar

Koordiniert in:

Germany

Ziel

Koordinator

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Administrative Kontaktangaben: OSWALD
Tel.: +49-7364-203141
Fax: +49-7364-6808

Teilnehmer

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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Administrative Kontaktangaben: N/A
HERAEUS QUARZSCHMELZE
Germany
QUARZSTRAßE 8
63450 HANAU
Germany
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Administrative Kontaktangaben: N/A
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