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New-Generation DUV-Stepper Optics

De 1990-01-01 à 1992-12-31

Détails concernant le projet

Coût total:

Non disponible

Contribution de l'UE:

Non disponible

Coordonné à/au(x)/en:

Germany

Objectif

Coordinateur

CARL ZEISS GMBH
Germany
CARL-ZEISS-STRAßE 4-54
73447 OBERKOCHEN
Germany
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Contact administratif: OSWALD
Tél.: +49-7364-203141
Fax: +49-7364-6808

Participants

ASM LITHOGRAPHY
Netherlands
MEIERIJWEG 15, 8805
5503 HN VELDHOVEN
Netherlands
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Contact administratif: N/A
HERAEUS QUARZSCHMELZE
Germany
QUARZSTRAßE 8
63450 HANAU
Germany
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Contact administratif: N/A