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FP5

3RD GENLAC Sintesi della relazione

Project ID: ENK6-CT-2002-00678
Finanziato nell'ambito di: FP5-EESD
Paese: Germany

Process simulation for reactive and non-reactive sputtering kinetics

Heuristic model of reactive sputtering

Reported by

Fraunhofer IST
Bienroder Weg 54e
38108 Braunschweig
Germany
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