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FP6

NANOPLASMA — Résultat en bref

Project ID: 16424
Financé au titre de: FP6-NMP

La gravure par Plasma arrive à maturité

La gravure précise de circuits à l'aide de plasmas promet l'avènement d'une technologie de pointe. Les PME pourraient ainsi produire bien plus rapidement et efficacement des dispositifs électroniques.
La gravure par Plasma arrive à maturité
La gravure par plasma utilise des jets de plasma à grande vitesse pour créer des circuits intégrés. Le projet Nanoplasma («Plasma etching for desired nano-feature shape and nano-texture: an advanced reactor and simulation software for feedback-loop plasma control») financé par l'UE a étudié une nouvelle méthode pour ce processus. Elle couvre plusieurs niveaux et fait appel aux mesures et à des expériences de contrôle pour arriver à une gravure à l'échelle nanométrique, allant jusqu'au contrôle de la texture et de la rugosité.

Le projet s'est intéressé aux diagnostics et à la simulation des plasmas, ainsi qu'aux logiciels de modélisation de surface. Il a conçu un meilleur outil de gravure par plasma qui améliore la réalisation et le contrôle des processus délicats de gravure à l'échelle nanométrique.

Nanoplasma a validé les modèles de gravure en pilotant la circulation du gaz et la puissance du plasma, afin de contrôler de près le taux et le profil de gravure. Il a mis au point un système sophistiqué de gravure, intégrant une nouvelle source de plasma, l'accordage automatique en fréquence, la spectroscopie et le contrôle par asservissement, aboutissant à une précision époustouflante.

Les progrès ont porté sur la réduction de la rugosité et la création de piliers texturés épais de 50nm. Le projet a fabriqué des prototypes viables d'un nouvel outil de gravure par plasma et d'un simulateur de gravure. Il a publié 15 articles dans des revues universitaires et présenté 50 publications lors de conférences. Il a déposé quatre demandes de brevets pour protéger la nouvelle technologie, démontrant une fois de plus la position de l'Europe dans ce domaine.

Avec les résultats obtenus, les PME pourront fabriquer de manière fiable des nanodispositifs, en petite quantité voire en plus grandes séries, et tirer parti d'une technologie de pointe dans le cadre d'une approche économique.

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