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Des MEB sur circuit intégré pour une fraction du coût

Les microscopes électroniques à balayage (MEB) existent depuis plus d'un demi-siècle et ont permis de réaliser des images tridimensionnelles (3D) étonnantes de structures miniatures avec un degré de grossissement beaucoup plus élevé. Des chercheurs financés par l'UE ont révolutionné le domaine de la microscopie électronique avec le premier MEB sur circuit intégré.
Des MEB sur circuit intégré pour une fraction du coût
Les MEB commercialisés sont des instruments imposants et onéreux. Bien qu'il existait déjà des principes scientifiques permettant de diminuer la taille des dispositifs et de minimiser ainsi les besoins énergétiques et les aberrations géométriques, seules les récentes avancées en technologie de nanostructuration rendent possible la réalisation pratique de tels dispositifs.

Des chercheurs européens soutenus par le financement de l'ambitieux projet Monarch («Ultra-bright nanoscale SEM-on-a-chip») se sont fixés comme objectif d'y parvenir, tout simplement, en concevant le premier MEB sur circuit intégré au monde.

Monarch a abouti à la réalisation d'un dispositif limité à 5 micromètres de long (la largeur d'un cheveu humain est d'environ 50 micromètres), fonctionnant sous des tensions inférieures et offrant une résolution atomique d'un ordre de grandeur supérieur à celle des MEB actuels les plus sophistiqués, pour une fraction du coût. La possibilité de produire des faisceaux d'électrons ultra purs, ultra puissants et consommant très peu d'énergie permet pour la première fois un balayage rapide d'une couche de surface et une identification élémentaire à la résolution atomique.

Les implications considérables du nouveau dispositif impactent des domaines importants, dont la détermination de la séquence des gènes, le stockage de données très volumineuses et le fraisage ciblé par faisceau d'ions, pour n'en citer que quelques-uns. D'une importance cruciale, la nanostructuration de dispositifs électroniques par faisceaux d'électrons serait désormais commercialement possible.

Le très ambitieux projet Monarch a fourni le premier MEB sous-microscopique capable d'être intégré à une puce électronique et offrant une résolution d'un ordre de grandeur supérieur, pour une fraction du coût d'un MEB ultrasophistiqué. Le dispositif est bien placé pour révolutionner la technologie du faisceau d'électrons et les nanosciences avec des répercussions conséquentes et de grande ampleur sur la compétitivité européenne.

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