Wspólnotowy Serwis Informacyjny Badan i Rozwoju - CORDIS

FP6

MONARCH — Wynik w skrócie

Project ID: 32732
Źródło dofinansowania: FP6-SME

Nowa, tańsza technologia mikroskopów SEM

Skaningowe mikroskopy elektronowe (SEM) są używane od ponad pół wieku i pozwalają na uzyskanie trójwymiarowych (3D) obrazów bardzo małych struktur w bardzo dużych powiększeniach. Finansowany ze środków UE zespół badawczy zrewolucjonizował mikroskopię elektronową, tworząc pierwszy skaningowy mikroskop elektronowy, który można zainstalować na układzie scalonym (SEM-on-a-chip).
Nowa, tańsza technologia mikroskopów SEM
Komercyjne mikroskopy SEM są duże i drogie. Chociaż istniały teorie naukowe dotyczące zmniejszenia rozmiaru urządzeń i tym samym minimalizacji wymagań energetycznych i aberracji obrazu, to dopiero najnowsze osiągnięcia w technologii nanoobróbki umożliwiły zbudowanie takich urządzeń.

Europejscy naukowcy biorący udział w ambitnym projekcie "Ultrajasny nanoskalowy mikroskop SEM na układzie scalonym" (Monarch) podjęli się tego trudnego zadania, tj. zbudowania pierwszego w historii subminiaturowego mikroskopu SEM na układzie scalonym.

Otrzymane urządzenie ma zaledwie 5 mikrometrów długości (ludzki włos ma grubość ok. 50 mikrometrów), pracuje na mniejszym napięciu i pozwala uzyskać rozdzielczość atomową o rząd wielkości wyższą niż aktualni używane SEM, przy wielokrotnie mniejszych kosztach. Możliwość niskoenergetycznego uzyskania wiązki elektronowej o bardzo dużej mocy i bardzo dużej czystości pozwala po raz pierwszy na szybkie skanowanie warstwy powierzchniowej i identyfikację pierwiastkową w rozdzielczości atomowej.

Osiągnięcie to będzie miało ogromny wpływ na takie dziedziny, jak sekwencjonowanie genów, systemy magazynowania danych o bardzo dużej gęstości czy trawienie jonowe, i wiele innych. Co niezwykle ważne, teraz możliwe będzie komercyjne nanowzorcowanie urządzeń elektronicznych przy pomocy wiązek elektronowych.

Ambitny projekt Monarch dostarczył pierwszych submikroskopowych SEM, które można wbudować na układ scalony i które mają rozdzielczość o rząd wielkości wyższą niż istniejące SEM, przy znacznie mniejszych kosztach. Urządzenie ma szansę zrewolucjonizować nanonauki i technologie oparte na wiązkach elektronowych, a także będzie miało dalekosiężne, trudne do przecenienia skutki dla konkurencyjności europejskich przedsiębiorstw.

Powiązane informacje

Śledź nas na: RSS Facebook Twitter YouTube Zarządzany przez Urząd Publikacji UE W górę