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MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration

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Progressi relativi ai giroscopi

Un’iniziativa finanziata dall’UE ha migliorato il processo di produzione in corso e la progettazione di piccoli giroscopi meccanici con dimensioni inferiori a 1 mm.

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I giroscopi con sistema microelettromeccanico (MEMS) sono dispositivi piccoli e a basso costo che misurano la velocità angolare. Questi giroscopi sono utilizzati in varie applicazioni quali smartphone e automobili, al fine di rilevare il movimento del dispositivo. l’iniziativa MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) ha migliorato la funzionalità e l’efficacia dei costi dei giroscopi MEMS. Gli scienziati hanno ridotto il costo della cella relativa al giroscopio riducendo le dimensioni della piastrina in silicio che contiene la cella. Inoltre, il miglioramento del modo in cui il dispositivo viene collegato ottimizza le prestazioni, riducendo lo stress residuo sul giroscopio. Il team ha inoltre migliorato l’assorbitore (spugna chimica che viene utilizzata per mantenere il vuoto). È stato semplificato il processo di fabbricazione, e ridotto il rischio di contaminazione. Oltre a ciò, migliorando il processo di connessione è stato possibile ottenere un allineamento e una qualità migliori. Il progetto MEMS MATURITY ha svolto progressi in quanto a produzione e progettazione di giroscopi MEMS. Questi progressi possono migliorare una vasta gamma di dispositivi, come per esempio i sistemi per prevenire il rotolamento di veicoli e migliorare la navigazione aerea.

Parole chiave

Giroscopi, produzione, sistemi microelettromeccanici, MEMS, velocità angolare

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