Améliorer la conception et la synthèse des matériaux fonctionnels
Le projet Novopoly («Novel functional polymer materials for MEMS and NEMS applications») a entrepris d'augmenter la fonctionnalité des matériaux tout en conservant d'excellentes capacités de miniaturisation. Financé par l'UE, le projet s'est ainsi efforcé de développer de nouveaux matériaux fonctionnels destinés à des microsystèmes (MEMS) et des nanosystèmes (NEMS) Des études de faisabilité ont été conduites pour plusieurs applications cibles. Se concentrant sur la conception et la synthèse de matériaux, les activités de Novopoly ont également abordé des problèmes de traitement et de structuration. À ce titre, un objectif parallèle a été de concevoir, améliorer et développer de nouvelles méthodes de patterning et de structuration pour les matériaux utilisés dans les MEMS et les NEMS. La première étape a été d'ajouter des fonctionnalités à des polymères photostructurables, comme le SU-8, et de surmonter les limitations des systèmes existants. Ces limitations concernent en particulier la conductivité mécanique et électrique, ainsi que les propriétés de stabilité à haute température. Des méthodes classiques ont été adaptées et des méthodes innovantes ont été développées pour les besoins spécifiques de nouveaux matériaux et processus qui devraient permettre de développer un grand nombre d'applications à base de MEMS et NEMS. Les résultats de Novopoly devraient avoir un impact considérable dans le domaine des MEMS et des NEMS en réduisant les coûts, en simplifiant les processus de fabrication et en améliorant les propriétés.
