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Efficient and Precise 3D Integration of Heterogeneous Microsystems from Fabrication to Assembly

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Une fabrication rapide et précise de microsystèmes

Des chercheurs financés par l'UE ont mis au point et testé une technologie originale qui devrait autoriser la fabrication rapide et exacte de microsystèmes. Elle devrait réduire la nécessité de se fournir à l'étranger, et dynamiser la compétitivité de l'UE.

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Les prévisions de l'évolution du secteur de la fabrication de semi-conducteurs et de circuits intégrés suggèrent qu'il ne suffira pas de réduire la taille des composants pour améliorer les performances et réduire les coûts, en occupant moins de place. L'intégration tridimensionnelle est une nouvelle technologie qui pourrait apporter une solution au problème de densité. Elle consiste à empiler et relier des matériaux et des composants, ce qui apporte plusieurs avantages importants: réduction de la consommation, du packaging et des coûts, et performances améliorées. Des chercheurs européens ont lancé le projet FAB2ASM («Efficient and precise 3D integration of heterogeneous microsystems from fabrication to assembly») afin de mettre au point la technologie d'intégration 3D précise et haut débit pour la microélectronique. Actuellement, l'intégration de microsystèmes 3D utilise des robots et la vision robotisée, obligeant à sacrifier la vitesse ou la précision. Le consortium de FAB2ASM conçoit une méthode mixte d'assemblage, en associant des outils robotisés avec des processus d'alignement automatique qui tirent parti des forces physiques agissant à l'échelle microscopique. Le consortium a déjà mis au point les composants, les outils, les matériaux de jonction et les technologies d'assemblage automatique et de jonction. Il a également conçu trois démonstrateurs industriels différents. Les tests des échantillons ont démontré la capacité à gérer des micropuces petites et minces, dans le cadre d'un assemblage très rapide et d'une très grande précision. FAB2ASM ne devrait pas rencontrer de difficultés pour atteindre son but d'une intégration en 3D rapide et exacte de microsystèmes à plusieurs fonctions, éliminant l'obstacle actuel à la commercialisation. L'exploitation de cette technologie aura certainement un impact important sur le secteur européen de la fabrication aux échelles nano et micrométriques, avec la production compétitive de produits innovants qui devraient sinon être acquis à l'étranger.

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