Objetivo ALASCA2 aims at making an extensive investigation of the technical and lithographic performance of the first generation ASML PAS5500/900 193nm step-and-scan system for R&D and pilot production. Special attention will be given to the performance of the illumination system and the projection lens, and to the lifetime of optical components. The system will be assessed focusing on the 0.13 µm technology node, where 193 nm lithography may be inserted into semiconductor manufacturing. Ámbito científico natural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivity Programa(s) FP5-IST - Programme for research, technological development and demonstration on a "User-friendly information society, 1998-2002" Tema(s) 1.1.2.-4.8.3 - Processes, equipment and materials Convocatoria de propuestas Data not available Régimen de financiación ACM - Preparatory, accompanying and support measures Coordinador INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW Aportación de la UE Sin datos Dirección KAPELDREEF 75 3001 LEUVEN Bélgica Ver en el mapa Coste total Sin datos Participantes (9) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación de la UE Ampliar todo Contraer todo ASM LITHOGRAPHY B.V. Países Bajos Aportación de la UE Sin datos Dirección DE RUN 1110 5503 LA VELDHOVEN Ver en el mapa Coste total Sin datos CYPRESS SEMICONDUCTOR Estados Unidos Aportación de la UE Sin datos Dirección 3901 N. FIRST STREET 95134 SAN JOSE Ver en el mapa Coste total Sin datos INFINEON TECHNOLOGIES AG Alemania Aportación de la UE Sin datos Dirección ST. MARTIN STRASSE 53 81609 MUENCHEN Ver en el mapa Coste total Sin datos INTEL CORPORATION Estados Unidos Aportación de la UE Sin datos Dirección MISSION COLLEGE BOULEVARD 2200 95052 SANTA CLARA CA Ver en el mapa Coste total Sin datos MICRON TECHNOLOGY INC. Estados Unidos Aportación de la UE Sin datos Dirección 8000 SOUTH FEDERAL WAY 83707-0006 BOISE, IDAHO Ver en el mapa Coste total Sin datos MOTOROLA INC. Estados Unidos Aportación de la UE Sin datos Dirección 3501 ED BLUESTEIN BOULEVARD 78721 AUSTIN - TEXAS Ver en el mapa Coste total Sin datos PHILIPS SEMICONDUCTORS B.V. Países Bajos Aportación de la UE Sin datos Dirección PROFESSOR HOLSTLAAN 4 5656AA EINDHOVEN Ver en el mapa Coste total Sin datos SEMICONDUCTOR LEADING EDGE TECHNOLOGIES INC. Japón Aportación de la UE Sin datos Dirección 292 YOSHIDA-CHO, TOTSUKA-KU 244-0817 YOKOHAMA Ver en el mapa Coste total Sin datos TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED Estados Unidos Aportación de la UE Sin datos Dirección FOREST LANE 8505 75266 DALLAS TX Ver en el mapa Coste total Sin datos
