Nanotubos de carbono ultrapuros: un componente clave de los transistores de nanotubos de carbono
Los nanotubos de carbono (NTC) son estructuras cilíndricas en miniatura hechas completamente de láminas de carbono de un átomo de espesor. Después de más de una década de investigación, se acaba de descubrir la manera de convertirlos en productos comerciales, principalmente como refuerzos estructurales gracias a su excepcional resistencia. Sus propiedades eléctricas, increíbles y únicas, también los han situado en el centro de atención de una intensa investigación en nanoelectrónica. Sin embargo, su explotación requiere el conocimiento y control precisos de esas propiedades. Unos científicos que trabajan en el proyecto «Doped semiconductor contacts for low resistance contacts to carbon nanotubes» (CNTCONTACT), financiados con fondos europeos, abordan varias cuestiones importantes mediante el desarrollo de componentes para transistores con efecto de campo de NTC. Los investigadores abordaron con éxito el problema clave para la obtención de NTC impolutos al final del procesamiento. Se evitó la exposición de los NTC a tratamientos agresivos y productos químicos durante la fabricación de los transistores haciendo los NTC en la última etapa, a diferencia de los flujos del proceso de producción convencional. Los NTC se recubrieron con un aislante ultrafino, a modo de capa protectora con la que evitar todo defecto de estos nanotubos durante las etapas posteriores del procesamiento. Además, los científicos desarrollaron una plataforma de evaluación para valorar el postprocesamiento y recubrimiento. Se demostró la capacidad de realizar una fabricación por lotes de hasta un centenar de estructuras similares a transistores a escala de chip. El procesamiento de placas de contacto podría producir miles de transistores en cada ciclo. CNTCONTACT creó y demostró un proceso que proporciona estructuras y tecnología para fabricar transistores con NTC ultralimpios con el fin de determinar los efectos del procesamiento en las propiedades estructurales y eléctricas de los NTC. Se espera que la aplicación de estos procesos y herramientas proporcione un gran impulso al desarrollo rápido basado en el conocimiento y a la comercialización de productos electrónicos de NTC.
Palabras clave
Chip, transistores, nanotubos de carbono, semiconductores, fotolitografía, placa de contacto, oblea
