Multiwafer Planetary MOVPE Reactor

Informacje na temat projektu

PLANET

Identyfikator umowy o grant: 5003

Projekt został zamknięty

Data rozpoczęcia 1 Stycznia 1990

Data zakończenia 31 Grudnia 1992

Finansowanie w ramach

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Koszt całkowity € 0,00

Wkład UE Brak danych

Koordynowany przez

Laboratoire d'Électronique Philips
France

Publikacje

Other (1)

PLANET MOVPE EQUIPMENT: A BREAKTHROUGH IN INDUSTRIAL PRODUCTION OF SOPHISTICATED EPITAXIAL LAYERS

Autorzy: HOLLAN L, FRIJLINK P M (PHILIPS, LIMEIL-BREVANNES (FR)), JUERGENSEN H, STRAUCH G (AIXTRON, AACHEN (DE)), ACKET G A, AMBROSIUS H P M (PHILIPS OPTOELECTRONICS CENTRE, EINDHOVEN (NL)), MARCHAL J M, WAUCQUEZ C (POLYFLOW, LOUVAIN LA NEUVE (BE)), HERNANDEZ-GIL GOMEZ J F (TELEFONICA I&D, MADRID (ES)), CALLEJA PARDO E (ETSI TELECOMUNICACION, UNIVERSIDAD POLITECNICA MADRID (ES))
Opublikowane w: EXTRACT: ESPRIT 1991: CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 135-151 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Strona(/y) 135-151