Multiwafer Planetary MOVPE Reactor

Información del proyecto

PLANET

Identificador del acuerdo de subvención: 5003

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 1 Enero 1990

Fecha de finalización 31 Diciembre 1992

Financiado con arreglo a

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Coste total € 0,00

Aportación de la UE Sin datos

Coordinado por

Laboratoire d'Électronique Philips
France

Publicaciones

Other (1)

PLANET MOVPE EQUIPMENT: A BREAKTHROUGH IN INDUSTRIAL PRODUCTION OF SOPHISTICATED EPITAXIAL LAYERS

Autores: HOLLAN L, FRIJLINK P M (PHILIPS, LIMEIL-BREVANNES (FR)), JUERGENSEN H, STRAUCH G (AIXTRON, AACHEN (DE)), ACKET G A, AMBROSIUS H P M (PHILIPS OPTOELECTRONICS CENTRE, EINDHOVEN (NL)), MARCHAL J M, WAUCQUEZ C (POLYFLOW, LOUVAIN LA NEUVE (BE)), HERNANDEZ-GIL GOMEZ J F (TELEFONICA I&D, MADRID (ES)), CALLEJA PARDO E (ETSI TELECOMUNICACION, UNIVERSIDAD POLITECNICA MADRID (ES))
Publicado en: EXTRACT: ESPRIT 1991: CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 135-151 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Página(s) 135-151