Description du projet
De nouvelles technologies de métrologie pour révolutionner le secteur des semi-conducteurs en Europe
La métrologie constitue les yeux et les oreilles de nombreuses industries, dont celle des semi-conducteurs. Dans chaque système de mesure électronique, un compromis doit être fait entre sensibilité, précision et exactitude. Le projet MADEin4, financé par l’UE, mettra au point de nouvelles solutions de l’industrie 4.0 pour le secteur européen de la fabrication de semi-conducteurs afin de surmonter cet écueil. Ce projet, qui met en contact près de 50 fabricants et organisations de recherche et de technologie en Europe, s’emploie à concevoir des systèmes cyberphysiques avancés et hautement connectés. Ces systèmes utilisent une nouvelle approche de l’industrie 4.0 qui combine l’analyse et la conception de données métrologiques avec des méthodes d’apprentissage machine et de jumelage numérique. Conçu pour doper la croissance du secteur européen des semi-conducteurs et de l’automobile, MADEin4 facilitera l’accès précommercial des fabricants aux échantillons d’essai en les mettant en contact avec de grandes organisations de recherche et de technologie.
Objectif
The metrology domain (which could be considered as the ‘eyes and ears’ for both R&D&I and production) is a key enabler for productivity enhancements in many industries across the electronic components and system (ECS) value chain and have to be an integral part of any Cyber Physical Systems (CPS) which consist of metrology equipment, virtual metrology or Industrial internet of things (IIoT) sensors, edge and high-performance computing (HPC). The requirements from the metrology is to support ALL process steps toward the final product. However, for any given ECS technology, there is a significant trade-off between the metrology sensitivity, precision and accuracy to its productivity. MADEin4 address this deficiency by focusing on two productivity boosters which are independent from the sensitivity, precision and accuracy requirements: • Productivity booster 1: High throughput, next generation metrology and inspection tools development for the nanoelectronics industry (all nodes down to 5nm). This booster will be developed by the metrology equipment’s manufacturers and demonstrated in an industry 4.0 pilot line at imec and address the ECS equipment, materials and manufacturing major challenges (MASP Chapter 15, major challenges 1 – 3). • Productivity booster 2: CPS development which combines Machine Learning (ML) of design (EDA) and metrology data for predictive diagnostics of the process and tools performances predictive diagnostics of the process and tools performances (predictive yield and tools performance). This booster will be developed and demonstrated in an industry 4.0 pilot line at imec, for the 5nm node, by the EDA, computing and metrology partners (MASP Chapter 15, major challenge 4). The same CPS concept will be demonstrated for the ‘digital industries’ two major challenges of the nanoelectronics (all nodes down to 5nm) and automotive end user’s partners (MASP Chapter 9, major challenges 1and 3).
Champ scientifique
- natural sciencescomputer and information sciencesinternet
- social scienceseconomics and businesseconomicsproduction economicsproductivity
- engineering and technologyelectrical engineering, electronic engineering, information engineeringelectronic engineeringsensors
- natural sciencescomputer and information sciencesartificial intelligencemachine learning
- engineering and technologynanotechnologynanoelectronics
Mots‑clés
Programme(s)
Thème(s)
Régime de financement
IA - Innovation actionCoordinateur
76705 Rehovot
Israël
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Participants (48)
92700 Colombes
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90556 Cadolzburg
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8020 Graz
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9438311 Jerusalem
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
2306990 Migdal Haemek
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75794 Paris
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10095 Grugliasco
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75015 PARIS 15
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00185 Roma
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34000 Montpellier
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
164 40 Kista
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
5651 GG Eindhoven
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10135 Torino
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
10043 Orbassano
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2628 AK Delft
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01109 Dresden
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3001 Heverlee
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91120 Palaiseau
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85551 Heimstetten
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3001 Leuven
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31500 Toulouse
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23100 Migdal Haemek
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8010 Graz
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
20692 Yokneam
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92360 Meudon La Foret
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20692 Yokneam
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3047 AT Rotterdam
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2595 DA Den Haag
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76100 REHOVOT
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75002 Paris
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74000 Annecy
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38116 Braunschweig
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10129 Torino
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5692 EM Son
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73463 Westhausen
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10587 Berlin
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1117 BUDAPEST
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38920 Crolles
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
37100 Tours
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13790 Rousset
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20864 Agrate Brianza
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2628 CN Delft
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5612 AE Eindhoven
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28199 Bremen
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23105 Migdal Haemek
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13284 Marseille
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38330 Montbonnot-Saint-Martin
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
060042 Bucharest
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