Dimensional micro and nanometrology using areal topography data produced by 3D surface metrology instruments

Projektinformationen

METROSURF

ID Finanzhilfevereinbarung: 624770

Projekt abgeschlossen

Startdatum 9 Februar 2015

Enddatum 31 Oktober 2017

Finanziert unter

• Specific programme "People" implementing the Seventh Framework Programme of the European Community for research, technological development and demonstration activities (2007 to 2013)

Gesamtkosten € 309 235,20

EU-Beitrag € 309 235,20

Koordiniert durch

THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM
United Kingdom