Dimensional micro and nanometrology using areal topography data produced by 3D surface metrology instruments

Informations projet

METROSURF

N° de convention de subvention: 624770

Projet clôturé

Date de début 9 Février 2015

Date de fin 31 Octobre 2017

Financé au titre de

• Specific programme "People" implementing the Seventh Framework Programme of the European Community for research, technological development and demonstration activities (2007 to 2013)

Coût total € 309 235,20

Contribution de l’UE € 309 235,20

Coordonné par

THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM
United Kingdom