The production and calibration of a sub-micrometre photomask linewidth standard

Información del proyecto

Identificador del acuerdo de subvención: MAT1940073

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 1 Enero 1995

Fecha de finalización 30 Junio 1997

Financiado con arreglo a

• Specific research and technological development programme (EEC) in the field of measurements and testing, 1990-1994

Coste total € 0,00

Aportación de la UE Sin datos

Coordinado por

National Physical Laboratory (NPL)
United Kingdom

Programa(s)

• FP3-MAT - Specific research and technological development programme (EEC) in the field of measurements and testing, 1990-1994

Tema(s)

Data not available

Convocatoria de propuestas

Data not available

Régimen de financiación

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

National Physical Laboratory (NPL)

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Queen's Road ; TW11 0LW Teddington ; Reino Unido
• Coste total: Sin datos

Participantes (2)

Dupont Photomask SA

Francia

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Rue Olivier Perroy ; 13790 Rousset
• Coste total: Sin datos

PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Bundesallee 100 ; BRAUNSCHWEIG
• Coste total: Sin datos