Tecnología de semiconductores para el control medioambiental
Los semiconductores presentan propiedades eléctricas, de alguna forma entre las de un conductor y las de un aislante. Se suelen utilizar para fabricar chips informáticos, como chips de memoria y CPU. Pero también pueden tener otras aplicaciones. El laboratorio SENSOR, de la Universidad de Brescia, está usando finas películas semiconductoras para crear excelentes sensores de gas. Este laboratorio, bien equipado, lleva trabajando en este campo casi veinte años. Tiene experiencia en las técnicas de Deposición en Fase de Vapor (PVD). En este caso se aplicó la técnica PVD de la dispersión magnetrónica. La dispersión implica la eliminación del material de un cátodo sólido bombardeándolo con iones positivos emitidos desde una descarga gaseosa poco común. Posteriormente, este material se deposita en el objetivo. Se usó la dispersión magnetrónica RF para depositar finas capas de óxidos mixtos de aluminio-vanadio en un substrato de silicio mecanizado. Esta técnica se aplicó también para la deposición de otros óxidos de metal, como los óxidos de indio-titanio y los de tungsteno-titanio. La deposición capa a capa permitió la creación de heterouniones, uniones entre semiconductores con diferente conductividad. La ventaja de las heterouniones es que se reduce considerablemente el impacto de las impurezas del material. Los sensores fabricados con estos nuevos materiales se pueden utilizar en aplicaciones de control medioambiental. Concretamente, los sensores microscópicos se fabricaron para medir los niveles ambientales de gases contaminantes dañinos. El laboratorio SENSOR va a seguir desarrollando y estudiando esta tecnología. Estos sensores podrían sustituir en breve a los tradicionales sensores de estaño que existen en el mercado si se resuelve el problema de la estabilidad a largo plazo.
