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NANOSTRUCTURED PHOTONIC SENSORS

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Nuevos conceptos en las estructuras de sensores de óxido por capas

Se emprendió una investigación orientada al desarrollo de sensores ópticos innovadores a partir de materiales nanocompuestos novedosos. Este trabajo abrió nuevos sectores tecnológicos que quedan pendientes de una investigación más profunda y abiertos para su aprovechamiento en el futuro.

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El propósito del proyecto NANOPHOS era el de desarrollar una tecnología nueva con la que crear sensores ópticos multicapa de metal/óxido con los que detectar contaminantes y agentes gaseosos. En el proyecto se abordó una serie de cuestiones relativas al control de la contaminación atmosférica y la mejora de la salud, la seguridad y los procesos industriales. Los nuevos sensores tendrían aplicación en el procesamiento de gas natural, el almacenamiento de fármacos, la búsqueda de petróleo y gas y el control de la cadena alimentaria. Se creó una estructura multicapa mediante pulverización por magnetrón para depositar una película de óxido de metal. A continuación se depositaron óxidos de platino, paladio, oro o cinc, y silicio o cinc desde objetivos metálicos mientras se realizaba una pulverización de oxígeno/argón o argón reactivo. Durante el proceso de grabado en seco se desarrollaron máscaras duras de metal o silicio y se aplicaron con buenos resultados. El patrón deseado se desarrolló inicialmente en la máscara dura y, seguidamente, se aplicó a las multicapas de metal/óxido. La máscara protegió las zonas seleccionadas del sustrato durante el proceso. Después se retiró la máscara y se reveló la estructura de difracción subyacente. También se desarrolló un método distinto a fin de crear patrones de multicapas metal/óxido con metales refractarios difíciles de grabar. Este proceso consistió en una litografía por desprendimiento y la deposición de multicapas de metal/óxido. Durante la litografía, el sustrato se cubrió con material a fin de evitar un sobrecalentamiento durante la pulverización.

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