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Maskless Surface morphing by Holographic Hyper Lithography

Description du projet

Une méthode lithographique pionnière pour le photopatterning de surface

La photonique est un domaine émergent qui inaugure le passage de l’électronique aux technologies photoniques avec des applications dans de nombreux secteurs. Cela exige des dispositifs optiques avancés, tels que des composants optiques planaires, qui se caractérisent par des surfaces structurées à l’échelle micro et nanométrique. Ces dispositifs pourraient être fabriqués à l’aide d’un processus photolithographique standard, mais la méthodologie actuelle est fort complexe et fastidieuse. Le projet HyperMaSH, financé par le CER se propose de développer une approche révolutionnaire pour le photopatterning de surface de composants optiques planaires avancés: l’hyper lithographie vectorielle couleur-temps. Il définira un espace multidimensionnel de paramètres optiques pour la lithographie, conçu en synergie pour tirer parti de matériaux photodéformables particuliers qui peuvent être structurés à l’aide de la seule lumière. Cette méthode innovante de modelage à haute résolution permettra également de considérablement réduire l’impact sur l’environnement et la consommation d’énergie.

Objectif

Photonics, the science of harnessing light, has the potential to revolutionize many sectors of the society. The envisioned transition from electronics to photonic technologies requires advanced and miniaturized optical devices. Planar optical components, realized as micro- and nanoscale structured surfaces, are at the forefront of this transition. However, their fabrication by traditional methods is still a barrier to their widespread use in applications. A photolithographic process that fully exploits the multiple degrees of freedom of the light is part of the solution.
HyperMaSH will introduce a radically new concept for surface photopatterning of advanced planar optical components: the Vector-Time-Color Hyper Lithography. I will define a multi-dimensional space of lithographic parameters, where the intensity pattern, the polarization distribution, the time evolution, and the wavelength of a holographic light field are simultaneously and synergically engineered.
For HyperMaSH’s approach, I will leverage the peculiar vectorial and reversible photoresponse of azobenzene-containing materials in combination with Jones matrix holography and digital holographic microscopy. The result will be the dynamical and reversible manipulation of the surface morphology on micro and nano spatial scale. Operating diffractive optical components and metasurfaces will be directly produced without any of the post-exposure processes of the standard photolithography.
I will realize a paradigm shift by developing an unprecedented direct and high-resolution patterning method with significantly reduced environmental impact and energy consumption. Results will have far-reaching implications beyond the fabrication of planar optical components to be used either directly or as reusable masters for surface templating. HyperMaSH envisions a general lithographic method for functional surfaces and contributes to the understanding of the complex light-matter interactions occuring in azomaterials.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. La classification de ce projet a été validée par l’équipe qui en a la charge.

Régime de financement

HORIZON-ERC - HORIZON ERC Grants

Institution d’accueil

UNIVERSITA DEGLI STUDI DI NAPOLI FEDERICO II
Contribution nette de l'UE
€ 1 620 500,00
Coût total
€ 1 620 500,00

Bénéficiaires (1)