Objetivo
"The objective of the project is to develop and manufacture µSJA based on silicon technologies. To reach the required output velocities of the µSJA, the chamber and the exit channel or nozzle will be optimized using different analytic and numeric methods. Based on the results of the optimization, a design will be investigated and transferred to silicon based structures. The production of the µSJA will be performed in the clean rooms of the ZfM and will be realized on wafer-level. The two different parts of the µSJA, the cavity and the diaphragm are micro-machined and wafer bonded in order to form the actuator. The diaphragm-wafer’s backside is wet etched in order to produce a membrane in two different thicknesses, 40 µm and 70 µm. The cavity-wafer in contrast, is prepared by a sequential etching process with the same etchant. In the first step the orifice will be preliminary etched with a depth of 400 µm. The second step equates the continuing etching of the orifice and the production of the cavity geometry. The achievements of these two processes are 3D nozzle structures of the orifice in a required aspect ratio and a very small cavity, resulting in a higher pressure gradient which leads to a much higher jet velocity compared to a dry anisotropic etched orifice combined with a huge cavity. This creates the main advantage compared to known layouts. Then, the two parts are bonded to form a small cavity with an orifice on the one side and a diaphragm on the opposite side. Finally, the piezo disc will be mounted on the back side of the diaphragm into the wet etched cavity. To integrate the electro mechanical transducer, in this case the PZT element, into the system, investigations of reactive bonding technologies for the use of PZT silicon bonding will be done. Thus, the strength of the low temperature bond of the ceramics, concerning low inducted mechanical stress, can be optimized."
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología nanotecnología sistemas nanoelectromecánicos
- ingeniería y tecnología otras ingenierías y tecnologías microtecnología
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
SP1-JTI-CS-2010-05
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
09111 Chemnitz
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.