Objetivo
"Additive manufacturing technologies such as 3D printing of polymers and metals have a large impact in many sectors. In this project we propose to explore ways to develop and commercially exploit a new type of 3D printing tool for manufacturing of silicon nanostructures. These 3D printers will make it possible to design and implement silicon micro- and nano-electromechanical system (MEMS&NEMS) sensors and photonic components in low volumes at affordable costs. As a result, resource-intensive semiconductor clean-room infrastructure will no longer be required to design and implement MEMS, NEMS and photonics components. A 3D printer for silicon nanostructures is made possible by employing a novel additive layer-by-layer manufacturing process that has been developed within the ERC Starting Grant project M&M´s (No.277879) lead by the PI. This process is based on alternating steps of chemical vapour deposition (CVD) of silicon and local implantation of gallium ions by focused ion beam (FIB) writing. In a final step, the defined 3D structures are formed by etching the silicon in potassium hydroxide (KOH), where the ion implantation provides the etching selectivity. The feasibility of the technology has been demonstrated within the ERC-M&M´s project by forming 3D silicon structures with layer thicknesses of 40 nm and lateral dimensions as small as 30 nm. To implement a 3D printer that can manufacture 3D silicon nanostructures from computer-generated 3D graphics, the steps of focused ion beam (FIB) writing and silicon deposition have to be combined as a fully automated switched process in a single tool."
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: https://op.europa.eu/es/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metales de postransición
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ingeniería y tecnología nanotecnología sistemas nanoelectromecánicos
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
- ingeniería y tecnología ingeniería mecánica ingeniería de fabricación fabricación aditiva
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
ERC-2012-PoC
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Institución de acogida
100 44 Stockholm
Suecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.