Multiwafer Planetary MOVPE Reactor

Informations projet

PLANET

N° de convention de subvention: 5003

Projet clôturé

Date de début 1 Janvier 1990

Date de fin 31 Decembre 1992

Financé au titre de

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Coût total € 0,00

Contribution de l’UE Aucune donnée

Coordonné par

Laboratoire d'Électronique Philips
France

Publications

Other (1)

PLANET MOVPE EQUIPMENT: A BREAKTHROUGH IN INDUSTRIAL PRODUCTION OF SOPHISTICATED EPITAXIAL LAYERS

Auteurs: HOLLAN L, FRIJLINK P M (PHILIPS, LIMEIL-BREVANNES (FR)), JUERGENSEN H, STRAUCH G (AIXTRON, AACHEN (DE)), ACKET G A, AMBROSIUS H P M (PHILIPS OPTOELECTRONICS CENTRE, EINDHOVEN (NL)), MARCHAL J M, WAUCQUEZ C (POLYFLOW, LOUVAIN LA NEUVE (BE)), HERNANDEZ-GIL GOMEZ J F (TELEFONICA I&D, MADRID (ES)), CALLEJA PARDO E (ETSI TELECOMUNICACION, UNIVERSIDAD POLITECNICA MADRID (ES))
Publié dans: EXTRACT: ESPRIT 1991: CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 135-151 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Page(s) 135-151