Objectif
The purpose of the project was to develop the essential mask and reticle technology required for advanced high-density and fast turn-round ASIC requirements to a device complexity level equivalent to 16 MDRAM. The results include new materials, processes and equipment which will make a significant contribution to the ability of the European semiconductor industry to manufacture advanced devices.
The purpose of the project is to develop the essential mask and reticle technology required for advanced high density and fast turnaround application specific integrated circuit (ASIC) requirements to a device complexity level equivalent to 16 million dynamic random access memories (MDRAM).
Software has been created allowing input data to be processed to order level status without human intervention. High speed data transfer and processing techniques have been implemented, greatly improving work efficiency and data integrity. Key blocks for a modular computer aided manufacture (CAM) system have been created and implemented, aiming for efficient, automated manufacturing control.
Available chrome substrate sources have been evaluated on a world scale to determine the optimum supply for quality and performance. Technology has been developed to reduce charge accumulation during electron beam pattern generation. Surface treatments have been developed to eliminate pinholes and reduce other levels of imperfection. New materials have been identified and are being spin coated to replace standard phosphate buffered sucrose (PBS) based electron beam resist, with its inherent limitations.
Analysis of far field scattering from small particles (down to 0.3 micron) has been completed. A novel dark field detector system has been designed and a patent application submitted (prototype being evaluated). Particle detector performance measurement techniques have been developed, including design of a suitable test structure, Performance of prototype system is being compared against other commercially available systems (in terms of speed and accuracy).
Methods have been developed for mixing and filtering polymers suitable for g-line, i-line and deep ultraviolet (UV) pellicles. European pellicle manufacturing capability has been established for both broad and narrow spectral range pellicles. Pellicles have been fabricated from novel materials and are now being evaluated to determine op timum performance. Frame adhesives and hermiticity of the cavity have been determined to be the critical performance issue.
Factors determing the effectiveness of the cleaning process have been identified. An improved fully automatic European mask plate cleaner has been installed at two sites. Sources of contamination, including cleaning chemistry residues such as long term crystal growth, have been identified. Development of the optimum cleaning process chemistry (ie economy and effectiveness) continue.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux cristaux
- sciences naturelles informatique et science de l'information logiciel
- sciences naturelles sciences chimiques science des polymères
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
KY7 4NT Glenrothes
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.