Objectif
Mechanical resonance is widely applied in high-precision oscillators for a multitude of time-keeping and frequency reference applications. In all such cases, the high-precision resonating element consists of an off-chip passive component, such as a quartz crystal. Major drawback of these off-chip resonator technologies is that they are bulky and must interface with transistor chips at the boards, posing a bottleneck against the ultimate miniaturization of e.g. wireless devices. The extraordinary small size and high level of integration that can be achieved with silicon MEMS resonators appear to open exceptional possibilities for creating miniature-scale precision oscillators to be used in e.g. mobile communication and navigation devices. The aim of the NanoTIMER project is to develop an oscillator with high-accuracy incorporating a silicon MEMS resonator generating frequencies in the 10 to 1500 MHz range.
Within the NanoTIMER project, MEMS based oscillators will be realized according to concrete specifications derived from existing applications. The MEMS oscillator will be encapsulated using a wafer-level vacuum package technology that is compatible to the oscillator manufacturing flow. An important feature of the proposed resonator manufacturing process is the realization of nanometre size (100 nm) transduction gaps, which is of prime importance for the realization of MEMS resonators functioning in the GHz range. Reliability and drift of assembled oscillators and its constituent components (resonator and package) will be assessed.
The NanoTIMER initiative is a first step towards the realization of 'vibrating' nano-electro- mechanical processors that, combined with traditional CMOS, could open new alternatives for signal processing in VLSI.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
- ingénierie et technologie génie mécanique ingénierie de fabrication
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique traitement des signaux
- ingénierie et technologie nanotechnologie
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
5656 AA Eindhoven
Pays-Bas
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.