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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-06-16

Integration of piezoelectric thin films in micro-electromechanical systems (MEMS-PIE)

Objetivo

The MEMS-Pie project will develop reliable technology and qualified procedures for integration of piezoelectric thin films into micro-electromechanical systems (MEMS) on an industrial scale. The results will increase the competitiveness of European SMEs engaged in the MEMS market. Many small companies have innovative ideas for new types of sensors and actuators based on silicon technology with integrated piezoelectric functional elements. Examples of such devices are: ultrasonic imaging transducers, pressure and flow sensors, accelerometers, micromotors and micropumps. Reliable technology for integration of piezoelectric thin films is a key tool to realise these new products. However, current knowledge in the field is mostly limited to the conditions and scale of academic laboratories, and knowledge on reliability and reproducibility of the films and methods at industrial level is scarce.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

EC-INTERNAL-1
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

Cooperative - SMEs-Co-operative research contracts

Coordinador

SINTEF - STIFTELSEN FOR INDUSTRIELL OG TEKNISK FORSKNING VED NORGES TEKNISKE HOEGSKOLE AS
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
Strindveien 4
TRONDHEIM
Noruega

Ver en el mapa

Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (8)

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