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Publications
Auteurs:
Jens-Peter Biethan, Detlef Arhilger, Jürgen Pistner, Holger Reus, Martin Stapp, Harro Hagedorn
Publié dans:
Vakuum in Forschung und Praxis, Numéro 29/4, 2017, Page(s) 26-31, ISSN 0947-076X
Éditeur:
John Wiley & Sons Ltd.
DOI:
10.1002/vipr.201700654
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