Objectif
We propose to develop a novel nanolithography technique, based on an ultra-high resolution scanning shadow mask, called Nanostencil. The technique eliminates processing steps involved in conventional resist-based lithography, and their related sources of contamination. It provides a fast prototyping tool for new structural nanodevice design, including nanopatterning of biomolecules, semiconductors, metals and insulators on arbitrarily structured surfaces. The technique involves a movable sample exposed to a collimated molecular beam through pinhole-like apertures in a cantilever or membrane. Scanning the sample allows arbitrary and complex patterns to be made. We will fabricate a variety of model structures and materials and characterise them with state-of-the-art methods, such as scanning probe microscopes. The project involves silicon micromachining, nanotechnology, ultra-high vacuum techniques, and surface biochemistry.
OBJECTIVES
Investigate the potential of a novel method for the fabrication of molecular structures on the nanometer scale which eliminates conventional processing steps by using a resistless lithography technique. Provide a general-purpose nano-scale patterning and fast prototyping tool for arbitrary material definition, including (bio)chemicals and designer molecules, semiconductors, metals and insulators on arbitrary surfaces (including non-flat substrates). Study/analyse nano-structures by various means (including scanning probe microscopy). Create a commercial product and SME for general purpose prototyping and small scale production of nanoscale devices including electronic, nanomagnetic and biomolecular analysis.
DESCRIPTION OF WORK
In the first phase of the ATOMS project a SME will be subcontracted to deliver samples of prototype membranes in which fine apertures are processed by ion or laser beam. The devices will be made available to the consortium to gather experimental experience in an early project phase. Nanostencils in the form of a cantilever/membrane with integrated functionality (microactuators) will be fabricated by microsystem technology. The interaction of deposited material with the stencil surface will be optimised using surface derivatisation techniques. This allows also fine-tuning the aperture size by controlled layer growth. The nanostencil and a four-source deposition system will be incorporated into an existing UHV/AFM chamber. Existing methodology (soft/hardware) will be further developed to control the movement of the mask so as to build up complex device structures. This control will need to be linked into the evaporation so that any one of the source evaporants can be chosen. An existing combination of e-beam and optical lithography will be used to pre-pattern substrates so that connection to the outside world can be effected. Complex device structures will then be fabricated into this pre-patterned structure, such as Single Electron Transistor, Magnetic nanostructures, and Molecular Structures. It also includes directed self-assembly of molecules at nano-electrodes. The fabricated nanodevices will be (post)processed by the project partners. One example is the integration of biomaterials, e.g. enzymes, antibodies or DNA, with metallic nanoparticle patterns. The resulting biomaterial functionalised patterns are used as catalytic interfaces for the assembly of complex nanostructures, and as nanoscale sensing domains. Atomically clean nanostructures are fabricated to study e.g. Coulomb blockade effects. (In-situ) characterisation of fabricated nanodevices is done using state-of-art methods such as scanning probe microscope.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques optique microscopie
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- ingénierie et technologie nanotechnologie nanomatériaux
- ingénierie et technologie biotechnologie industrielle biomatériaux
- sciences naturelles sciences biologiques biochimie biomolécule protéines enzyme
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Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
7522 NB ENSCHEDE
Pays-Bas
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.