Objetivo
This project continues the theme of Project 193 by determining the reproducibility of the determination of thin oxide film thickness using AES and XPS whilst at the same time improving quantification procedures and determining important reference data for the oxide system studied.
Results
Samples of 230 nm thick Al203 on Al were produced and characterized using nuclear reaction analysis. XPS was then used to determine Al and O peak positions, intensities, chemical shifts and the oxide thickness using the spectrometer energy calibration determined in project 193. In addition the layer was sputter depth profiled using AES and the BCR 260 Ta205 oxide thickness reference material.
The very consistent results gave the following
- the binding energies of the metallic states Al 2p and Al 4f7/2 are 73.0 +/- 0.1 eV and 118.0 +/- 0.2 eV;
- the chemical shifts of Al(3+) in the oxide layer are 2.8 +/- 0.1 eV and 2.5 +/- 0.1 eV;
- using the oxide thickness obtained with nuclear reaction analysis and the ratios of the oxide thickness to electronattenuation length from XPS, the attenuation lengths forAl203 are (Al2p)MgKa = 17.7 degrees A and (Al2p)AlKa = 20.5 degrees A;
- the ratios of the photoelectron yields of oxygen toaluminium are Y(01s)/Y(Al2p) = 6.1 +/- 0.7 and Y(01s)/Y(Al2s)= 5.0 +/- O.7;
- the LMM and KLL A AES energies of Al in Al203 53.5 +/- 2.8 eVand 1389.5 +/- 3.5 eV, the corresponding values for Al metal being 66.4 +/- 2.8 eV and 1394.4 +/- 4.0 eV;
- the relative etching rate between Al203 and Ta205 is 0.69 +/- 0.17
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
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Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
Paris
Francia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.