Microfabricación mediante chorro de plasma
La microfabricación es un conjunto de tecnologías que sirve para crear estructuras de pequeño tamaño, del orden de una micra o menores. Implica gran número de procesos que utilizan equipos de coste muy elevado. Por este motivo, en la actualidad su aplicación se limita al desarrollo a gran escala de numerosos sistemas microelectromecánicos, por ejemplo sensores y accionadores, o aplicaciones integradas de óptica. Para afrontar esta limitación, un proyecto subvencionado por la CE ha desarrollado una tecnología innovadora para la microestructuración directa de superficies, utilizando un chorro de plasma químicamente activo (con un diámetro inferior a 80nm), con formación simultánea de imágenes in situ. La nanoboquilla que se ha creado explora toda la superficie y emite el chorro, configurando la estructura, y de este modo los procesos de microfabricación se reducen significativamente en tiempo y en tamaño. Esta tecnología ofrece una opción viable para la producción o el desarrollo a pequeña escala de prototipos y aplicaciones piloto. La utilización de una reacción local entre plasma y sólido permite la fabricación directa de estructuras de materiales de pequeño tamaño, con las propiedades electrónicas requeridas a escala submicra para dispositivos microelectrónicos. En comparación con la tecnología tradicional de FIB ("Focused Ion Beam", haz enfocado de iones) para la litografía, el concepto de aplicación descendente de plasma facilita y acelera los procesos de grabado y deposición. Gracias a ello, los procesos inducidos puramente químicos hacen innecesaria la óptica de iones y se reducen los costes de proceso y equipos. Un rasgo adicional de esta innovación es que brinda la posibilidad simultánea de microfabricación y formación de imágenes. Mediante la detección de la fuerza de corte entre la nanoboquilla y la superficie, la formación de imágenes de alta resolución (50nm o más) proporciona un mejor control del proceso. En consecuencia, la tecnología puede llevar a cabo en el acto un análisis de las secciones transversales de microdispositivos con formación de imágenes in situ. La tecnología de nanochorro es una herramienta versátil para la continua miniaturización a tamaños de micra o nanómetro. Esta herramienta puede hallar múltiples aplicaciones en el sector de la producción de circuitos integrados, así como en física, química y biología. Y lo que es aún más importante, tiene el potencial necesario para desempeñar un papel clave en la era de la nanotecnología, que ejercerá un inmenso influjo sobre nuestras vidas.
