Microfabrication par un jet de plasma aval
La microfabrication est un ensemble de procédés technologiques destinés à fabriquer des structures de petite taille de l'ordre du micromètre ou moins. Elle fait appel à un grand nombre de processus qui utilisent un équipement relativement onéreux. Pour cette raison, son adoption est actuellement restreinte au développement à grande échelle de nombreux projets microélectromécaniques, tels que capteurs et actionneurs ou applications optiques intégrées. Pour répondre à ce besoin, un projet financé par l'UE a mis au point un procédé technologique innovant de microstructuration directe de la surface à l'aide d'un jet de plasma actif chimiquement (de diamètre inférieur de 80nm) avec des techniques de transfert d'image simultané in situ. La nanobuse élaborée explore toute la surface et émet le jet formant la structure si bien que les procédés de microfabrication ont des temps et des tailles considérablement réduits. Le procédé est donc tout à fait adapté à la production ou au développement à petite échelle de prototypes et d'applications pilotes. Le recours à la réaction locale plasma-solide permet la fabrication directe de structures de matériaux de petite taille, dotées des propriétés électroniques requises à l'échelle inférieure au micron pour des appareils microélectroniques. Comparé au procédé de lithographie classique FIB (Focused Ion Beam - faisceau ionique focalisé), le concept de plasma aval facilite et accélère les procédés de gravure et de dépôt. Les procédés induits purement chimiques rendent l'optique ionique inutile et aussi bien les frais d'équipement que de procédé sont allégés. Cette innovation a l'autre avantage d'offrir en même temps la microfabrication et des capacités de transfert d'image. En détectant la force de cisaillement entre la nanobuse et la surface, la haute résolution d'image (50nm ou plus) assure un meilleur contrôle du procès. Le procédé permet donc de réaliser un transfert d'images in situ et une analyse précise des sections transversales des microappareils. La technologie du nanojet est un outil polyvalent pour la miniaturisation continue aux tailles du micromètre et du nanomètre. L'outil peut avoir des applications très diverses dans l'industrie de réalisation de circuits intégrés ainsi qu'en physique, chimie et biologie. Plus important, elle peut jouer un rôle majeur dans l'ère nanotechnologique et avoir un impact considérable sur notre vie.
