Des progrès dans les gyroscopes
Les gyroscopes MEMS (systèmes microélectromécaniques) sont de petits appareils de mesure peu coûteux qui mesurent la vitesse angulaire. Ils servent notamment dans les smartphones et les automobiles pour détecter les mouvements. L'initiative MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) a amélioré la fonctionnalité et réduit le coût du gyroscope MEMS. Pour y parvenir, les chercheurs ont diminué la taille de la puce de silicium contenant la cellule du gyroscope. En outre, l'amélioration de la fixation du dispositif a réduit les contraintes résiduelles exercées sur le gyroscope et augmenté ses performances. L'équipe a aussi perfectionné le dégazeur (éponge chimique utilisée pour maintenir le vide). Elle a simplifié le processus de fabrication et diminué le risque de contamination. En améliorant la fixation, elle est parvenue à obtenir un meilleur alignement. Le projet MEMS MATURITY a fait progresser la conception et la fabrication de gyroscopes MEMS. Ces avancées devraient contribuer à augmenter les performances de nombreux appareils tels que ceux utilisés pour éviter le roulis des véhicules et perfectionner le système de navigation des avions.
Mots‑clés
Gyroscopes, fabrication, systèmes microélectromécaniques , MEMS, vitesse angulaire