Fortschrittliche Gyroskope
Mikrosystemtechnische (MEMS) Gyroskope sind winzige, billige Geräte, die die Winkelgeschwindigkeit messen. Diese Gyroskope werden unter anderem für Smartphones und Automobile verwendet, um Bewegung zu erfassen. Die Initiative MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) verbesserte die Funktionalität und Wirtschaftlichkeit des MEMS-Gyroskops. Die Wissenschaftler reduzierten die Kosten für die Gyro-Zelle, indem sie den Siliziumchip verkleinerten, der die Zelle enthält. Ferner verbesserte eine optimierte Anbringung des Geräts die Leistung, indem die Restspannung auf das Gyroskop reduziert wurde. Außerdem verbesserte das Team den Getter (den chemischen Schwamm, mit dem das Vakuum aufrecht erhalten wird). Sie vereinfachten den Herstellungsprozess und reduzierten das Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus führte eine Anpassung des Befestigungsprozesses zu einer besseren Ausrichtung und zu höherer Bindungsqualität. MEMS MATURITY entwickelte die Herstellung und das Design von MEMS-Gyroskopen weiter. Diese Fortschritte können eine breite Palette von Geräten verbessern, beispielsweise um das wegrollen von Fahrzeugen zu hindern und die Flugnavigation zu verbessern.
Schlüsselbegriffe
Gyroskope, Herstellung, Mikrosystemtechnik, MEMS, Winkelgeschwindigkeit
