Doskonalsze żyroskopy
Żyroskopy oparte na systemach mikroelektromechanicznych (MEMS) to małe i tanie urządzenia mierzące prędkość kątową. Są one stosowane w różnych dziedzinach, między innymi w smartfonach czy samochodach, a ich zadaniem jest wykrywanie ruchu urządzenia. W ramach projektu MEMS MATURITY (MEMS Gyro - Maturity assessment of performance and integration) zwiększono funkcjonalność i obniżono koszty żyroskopów MEMS. W celu obniżenia kosztów żyroskopu zmniejszono wielkość matrycy krzemowej, w której znajduje się ogniwo. Poprawa mocowania urządzenia pozwoliła na zmniejszenie naprężenia szczątkowego działającego na żyroskop. Zespół udoskonalił też tzw. getter (chemiczną gąbkę utrzymującą próżnię). Uczeni uprościli proces produkcji i zmniejszyli ryzyko zanieczyszczenia. Ponadto, udoskonalenie mocowania umożliwiło lepsze dopasowanie i poprawę jego jakości. Dzięki inicjatywie MEMS MATURITY udoskonalono procesy produkcji i projektowania żyroskopów MEMS. Oznacza to usprawnienie działania wielu różnych urządzeń, takich jak systemy stabilizujące pojazdy czy pomagające w nawigacji samolotów.
Słowa kluczowe
Żyroskopy, produkcja, układy mikroelektromechaniczne, MEMS, prędkość kątowa