Sistemas electromecánicos "más inteligentes"
Aprovechando la tecnología de microfabricación, los dispositivos MEMS integran, en un mismo substrato, elementos mecánicos, sensores, actuadores y demás componentes electrónicos. Si se comparan con las secuencias de procesos de los circuitos integrados estándares, estos componentes micromecánicos se fabrican mediante procesos compatibles de micromecanizado. Estos procesos eliminan de forma selectiva partes de la oblea de silicio o añaden nuevas capas estructurales para formar los dispositivos mecánicos y electromecánicos. Los nuevos dispositivos MEMS han sido diseñados partiendo de membranas en las que se ha eliminado localmente el substrato. Estas membranas contienen capas alternas de distintos materiales con la misma orientación estructural. Para este tipo de membranas, los efectos físico-cuánticos son significativos y ofrecen posibilidades avanzadas, como son la capacidad de detectar señales con una baja relación señal-ruido. Los nuevos dispositivos MEMS ya han sido diseñados, fabricados y caracterizados, estando actualmente en fase de ensayo para mejorar su vida útil. Al permitir conversiones analógico-digitales de alta resolución (9bits) y de baja potencia (1µW), a velocidades de muestreo muy altas (GS/s), la tecnología resulta muy prometedora para los sistemas de telecomunicaciones y de radar. Más concretamente, estos dispositivos pueden utilizarse en una amplia gama de aplicaciones: sensores bolométricos, filtros de Q alta y circuitos de adaptación de impedancias, resonadores sintonizables, mezcladores de alta frecuencia (THz), entre otras muchas. Existen diversos mercados que pueden beneficiarse de estas aplicaciones; entre éstos se incluyen las siguientes industrias: aeroespacial, defensa, automoción, naval, navegación, comunicaciones y prospecciones petroleras. Además, la avanzada tecnología de los dispositivos MEMS podría revolucionar muchos productos, haciendo posible la integración de todo el sistema en un único chip. Básicamente, esta tecnología generadora puede emplearse para desarrollar productos "más inteligentes", combinando las propiedades de la microelectrónica con la capacidad de control de los microsensores y los microactuadores. De esta forma, se amplían considerablemente las posibilidades de diseño y aplicación de la microelectrónica.
