Systèmes électromécaniques "plus intelligents"
Les MEMS exploitent la technologie de la microfabrication pour intégrer des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et des composants électroniques sur un substrat commun. Comparés aux techniques normalisées CI (circuits intégrés), ces composants micromécaniques sont fabriqués par des procédés de "micro-usinage" compatibles. De tels procédés consistent à enlever par gravure certaines parties de la tranche de silicium ou à ajouter de nouvelles couches structurelles pour former des équipements mécaniques et électromécaniques. Les nouveaux MEMS développés ont été réalisés à partir de membranes sur lesquelles le substrat a été enlevé localement. Ces membranes contiennent des couches alternées de matériaux différents ayant la même orientation structurelle. Pour ces membranes, les effets de la physique quantique deviennent importants et offrent de nouveaux débouchés comme la possibilité de détecter des signaux dans la plage basse de rapport signal/bruit. Les nouveaux MEMS ont été conçus, fabriqués et caractérisés. Ils subissent actuellement des essais en vue d'améliorer leurs propriétés de longévité. Le procédé technologique utilisé offre une conversion analogique-numérique à très haute vitesse (GS/s), faible puissance (1µW), haute résolution (9bits), ce qui est très prometteur pour les systèmes de télécommunications et radar. Plus particulièrement, ces équipements ont un vaste champ d'applications pratiques: capteurs thermiques à résistance, filtres à facteur de haute qualité, circuits adaptateurs d'impédance, mélangeurs THz et de nombreux autres appareils. Le domaine d'application est très vaste puisqu'il inclut l'aérospatiale, la défense, l'industrie automobile, la marine, la navigation, la communication et l'industrie d'exploration pétrolière. De plus, l'avancée technologique réalisée par les MEMS a le potentiel de transformer radicalement de nombreux produits en réalisant des systèmes complets sur une puce. En fait, cette technologie prometteuse peut servir à mettre au point des produits "plus intelligents" en combinant les possibilités de la microélectronique et les capacités de contrôle des microcapteurs et des microactionneurs. Elle peut ainsi accroître considérablement le champ de conception et d'application de la microélectronique.
